TFE4180 - Halvleder komponent- og kretsteknologi - Sideversjonshistorikk

Yasharh: /* Faglig innhold */

2016-05-03T08:52:53Z

Faglig innhold

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 3. mai 2016 kl. 08:52
Linje 17:		Linje 17:
	* Prosessering av halvlederkomponenter og integrerte kretser ([[CMOS]] er eksempelet i dette kurset): Filmdeponering, [[ioneimplantasjon]], fotolitografi og avansert litografi, etsing, metallisering, trådbonding og pakking.		* Prosessering av halvlederkomponenter og integrerte kretser ([[CMOS]] er eksempelet i dette kurset): Filmdeponering, [[ioneimplantasjon]], fotolitografi og avansert litografi, etsing, metallisering, trådbonding og pakking.
	* Krystallgroing fra smelte og epitaksielle deponeringsteknikker (dampfase-, væskefase- og molekylstråle-epitaksi).		* Krystallgroing fra smelte og epitaksielle deponeringsteknikker (dampfase-, væskefase- og molekylstråle-epitaksi).
	*Halvleder heterostruktur og supergitter.
	*Karakterisering av halvledere med elektriske målinger (resistivitet, mobilitet, dopekonsentrasjoner), diffraksjonsmetoder ([http://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_crystallography XRD], [http://en.wikipedia.org/wiki/RHEED RHEED], [http://en.wikipedia.org/wiki/Low-energy_electron_diffraction LEED]), ionestråle-baserte teknikker ([http://en.wikipedia.org/wiki/Secondary_ion_mass_spectrometry SIMS]) og mikroskopi ([http://en.wikipedia.org/wiki/Optical_microscope OM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope SEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy TEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_tunneling_microscope STM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscope AFM]).		*Karakterisering av halvledere med elektriske målinger (resistivitet, mobilitet, dopekonsentrasjoner), diffraksjonsmetoder ([http://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_crystallography XRD], [http://en.wikipedia.org/wiki/RHEED RHEED], [http://en.wikipedia.org/wiki/Low-energy_electron_diffraction LEED]), ionestråle-baserte teknikker ([http://en.wikipedia.org/wiki/Secondary_ion_mass_spectrometry SIMS]) og mikroskopi ([http://en.wikipedia.org/wiki/Optical_microscope OM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope SEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy TEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_tunneling_microscope STM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscope AFM]).

Yasharh på 19. apr. 2016 kl. 10:30

2016-04-19T10:30:42Z

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 19. apr. 2016 kl. 10:30
Linje 43:		Linje 43:
	*[http://www.ntnu.no/studier/emner/TFE4180#tab=omEksamen Eksamensinfo]		*[http://www.ntnu.no/studier/emner/TFE4180#tab=omEksamen Eksamensinfo]

	~~[[Kategori:Obligatoriske emner]]~~
	[[Kategori:Fag 4. semester]]		[[Kategori:Fag 4. semester]]
	[[Kategori:Fag]]		[[Kategori:Fag]]

Yasharh på 19. apr. 2016 kl. 09:27

2016-04-19T09:27:56Z

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 19. apr. 2016 kl. 09:27
Linje 1:		Linje 1:
	{{Infobox		{{Infobox
	\|		\|
	\|* '''Institutt''': Institutt for elektronikk		\|* '''Institutt''': Institutt for elektronikk og telekommunikasjon
	*'''Vurderingsform''': Skriftlig eksamen 100%		*'''Vurderingsform''': Skriftlig eksamen 100%
	*'''Hjelpemiddelkode:''' D: Ingen trykte eller håndskrevne hjelpemidler tillatt. Bestemt, enkel kalkulator tillatt.		*'''Hjelpemiddelkode:''' D: Ingen trykte eller håndskrevne hjelpemidler tillatt. Bestemt, enkel kalkulator tillatt.

Yasharh: /* Om emnet */

2016-04-19T09:27:34Z

Om emnet

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 19. apr. 2016 kl. 09:27
Linje 8:		Linje 8:

	== Om emnet ==		== Om emnet ==
	Emnet ~~er obligatorisk og er med i fagplanen~~ for ~~4. semester~~.		Emnet ble undervist for siste gang våren 2016.

	===Faglig innhold===		===Faglig innhold===

Jonathrg på 4. mai 2015 kl. 18:36

2015-05-04T18:36:06Z

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 4. mai 2015 kl. 18:36
Linje 12:		Linje 12:
	===Faglig innhold===		===Faglig innhold===
	Emnet skal formidle teoretisk innsikt i halvleder- og tynnfilmteknologi for fremstilling av elektroniske og fotoniske komponenter, og integrerte kretser. Emnet skal gi det teoretiske grunnlaget for å kunne gjøre fotolitografi og prosessering av halvlederkomponenter og CMOS integrerte kretser, samt det teoretiske grunnlaget for utvalgte karakteriseringsteknikker		Emnet skal formidle teoretisk innsikt i halvleder- og tynnfilmteknologi for fremstilling av elektroniske og fotoniske komponenter, og integrerte kretser. Emnet skal gi det teoretiske grunnlaget for å kunne gjøre fotolitografi og prosessering av halvlederkomponenter og CMOS integrerte kretser, samt det teoretiske grunnlaget for utvalgte karakteriseringsteknikker


	Kurset inneholder:		Kurset inneholder:
Linje 20:		Linje 19:
	*Halvleder heterostruktur og supergitter.		*Halvleder heterostruktur og supergitter.
	*Karakterisering av halvledere med elektriske målinger (resistivitet, mobilitet, dopekonsentrasjoner), diffraksjonsmetoder ([http://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_crystallography XRD], [http://en.wikipedia.org/wiki/RHEED RHEED], [http://en.wikipedia.org/wiki/Low-energy_electron_diffraction LEED]), ionestråle-baserte teknikker ([http://en.wikipedia.org/wiki/Secondary_ion_mass_spectrometry SIMS]) og mikroskopi ([http://en.wikipedia.org/wiki/Optical_microscope OM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope SEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy TEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_tunneling_microscope STM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscope AFM]).		*Karakterisering av halvledere med elektriske målinger (resistivitet, mobilitet, dopekonsentrasjoner), diffraksjonsmetoder ([http://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_crystallography XRD], [http://en.wikipedia.org/wiki/RHEED RHEED], [http://en.wikipedia.org/wiki/Low-energy_electron_diffraction LEED]), ionestråle-baserte teknikker ([http://en.wikipedia.org/wiki/Secondary_ion_mass_spectrometry SIMS]) og mikroskopi ([http://en.wikipedia.org/wiki/Optical_microscope OM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope SEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy TEM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_tunneling_microscope STM], [http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscope AFM]).


	===Laboratoriekurs===		===Laboratoriekurs===
	Laboratoriekurset består av fire oppmøter og går ut på å lage og måle egenskapene til en Hall-bar. Teknikker og utstyr som blir brukt er blant annet fotolitografi, optisk mikroskop, elektronmikroskop, etsing, metallisering og måling av [http://en.wikipedia.org/wiki/Hall_effect Hall-effekten].		Laboratoriekurset består av fire oppmøter og går ut på å lage og måle egenskapene til en Hall-bar. Teknikker og utstyr som blir brukt er blant annet fotolitografi, optisk mikroskop, elektronmikroskop, etsing, metallisering og måling av [http://en.wikipedia.org/wiki/Hall_effect Hall-effekten].
	Ved slutten av laboratoriekurset skal en rapport leveres. Rapporten skal reflektere labkursets overodnede mål om å finne dopetype og ladningsbærerkonsentrasjon. Videre kan man si noe om mobiliteten og hvordan denne gir et uttrykk for feil i krystallstrukturen. Rapporten skal ha vitenskapelig oppbygning og språk. Mer informasjon om retningslinjer for rapporten er angitt på emnets itsLearning-side for det aktuelle semesteret.		Ved slutten av laboratoriekurset skal en rapport leveres. Rapporten skal reflektere labkursets overodnede mål om å finne dopetype og ladningsbærerkonsentrasjon. Videre kan man si noe om mobiliteten og hvordan denne gir et uttrykk for feil i krystallstrukturen. Rapporten skal ha vitenskapelig oppbygning og språk. Mer informasjon om retningslinjer for rapporten er angitt på emnets itsLearning-side for det aktuelle semesteret.


	=== Anbefalte forkunnskaper ===		=== Anbefalte forkunnskaper ===
Linje 35:		Linje 32:

	== Lenker ==		== Lenker ==


	=== Emnerapporter ===		=== Emnerapporter ===
	Utilgjengelig/finnes ikke (V2015)		Utilgjengelig/finnes ikke (V2015)


	=== NTNUs sider om emnet ===		=== NTNUs sider om emnet ===

Jonathrg på 4. mai 2015 kl. 18:33

2015-05-04T18:33:46Z

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 4. mai 2015 kl. 18:33
Linje 6:		Linje 6:
	*'''Øvingsopplegg:''' Ukentlige skriftlige øvinger og laboratoriekurs med rapportinnlevering.		*'''Øvingsopplegg:''' Ukentlige skriftlige øvinger og laboratoriekurs med rapportinnlevering.
	}}		}}



	== Om emnet ==		== Om emnet ==

Ruthgl: /* Om emnet */

2015-05-04T16:46:03Z

Om emnet

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 4. mai 2015 kl. 16:46
Linje 10:		Linje 10:

	== Om emnet ==		== Om emnet ==
			Emnet er obligatorisk og er med i fagplanen for 4. semester.

	===Faglig innhold===		===Faglig innhold===
	Emnet skal formidle teoretisk innsikt i halvleder- og tynnfilmteknologi for fremstilling av elektroniske og fotoniske komponenter, og integrerte kretser. Emnet skal gi det teoretiske grunnlaget for å kunne gjøre fotolitografi og prosessering av halvlederkomponenter og CMOS integrerte kretser, samt det teoretiske grunnlaget for utvalgte karakteriseringsteknikker		Emnet skal formidle teoretisk innsikt i halvleder- og tynnfilmteknologi for fremstilling av elektroniske og fotoniske komponenter, og integrerte kretser. Emnet skal gi det teoretiske grunnlaget for å kunne gjøre fotolitografi og prosessering av halvlederkomponenter og CMOS integrerte kretser, samt det teoretiske grunnlaget for utvalgte karakteriseringsteknikker
Linje 33:		Linje 35:
	*Læreboka ''Semiconductor Manufacturing Technology'' (av Quirk og Serda)		*Læreboka ''Semiconductor Manufacturing Technology'' (av Quirk og Serda)
	*Kompendium i form av utdrag fra ''Semiconductor Science'' (av Jenkins)		*Kompendium i form av utdrag fra ''Semiconductor Science'' (av Jenkins)

	== Lenker ==		== Lenker ==

Jonasaak: /* Anbefalte forkunnskaper */

2015-05-04T13:59:27Z

Anbefalte forkunnskaper

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 4. mai 2015 kl. 13:59
Linje 28:		Linje 28:

	=== Anbefalte forkunnskaper ===		=== Anbefalte forkunnskaper ===
	Emnet forventer kunnskap fra fysikk, matematikk og kjemi tilsvarende ~~videreågende~~ skole. Det er fordeltaktig å ha hatt emnet Materialteknologi [http://www.nanowiki.no/wiki/TMT4185 TMT4185]. Kjennskap til emnet Elektromagnetisme [http://www.nanowiki.no/wiki/TFE4120 TFE4120] som er et emne i fagplanen for samme semester, er også nyttig.		Emnet forventer kunnskap fra fysikk, matematikk og kjemi tilsvarende videregående skole. Det er fordeltaktig å ha hatt emnet Materialteknologi [http://www.nanowiki.no/wiki/TMT4185 TMT4185]. Kjennskap til emnet Elektromagnetisme [http://www.nanowiki.no/wiki/TFE4120 TFE4120] som er et emne i fagplanen for samme semester, er også nyttig.

	=== Læringsressurser/pensumlitteratur ===		=== Læringsressurser/pensumlitteratur ===

Ruthgl på 4. mai 2015 kl. 13:57

2015-05-04T13:57:11Z

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 4. mai 2015 kl. 13:57
Linje 30:		Linje 30:
	Emnet forventer kunnskap fra fysikk, matematikk og kjemi tilsvarende videreågende skole. Det er fordeltaktig å ha hatt emnet Materialteknologi [http://www.nanowiki.no/wiki/TMT4185 TMT4185]. Kjennskap til emnet Elektromagnetisme [http://www.nanowiki.no/wiki/TFE4120 TFE4120] som er et emne i fagplanen for samme semester, er også nyttig.		Emnet forventer kunnskap fra fysikk, matematikk og kjemi tilsvarende videreågende skole. Det er fordeltaktig å ha hatt emnet Materialteknologi [http://www.nanowiki.no/wiki/TMT4185 TMT4185]. Kjennskap til emnet Elektromagnetisme [http://www.nanowiki.no/wiki/TFE4120 TFE4120] som er et emne i fagplanen for samme semester, er også nyttig.

	~~== Lenker ==~~
	=== Læringsressurser/pensumlitteratur ===		=== Læringsressurser/pensumlitteratur ===
	*Læreboka ''Semiconductor Manufacturing Technology'' (av Quirk og Serda)		*Læreboka ''Semiconductor Manufacturing Technology'' (av Quirk og Serda)
	*Kompendium i form av utdrag fra ''Semiconductor Science'' (av Jenkins)		*Kompendium i form av utdrag fra ''Semiconductor Science'' (av Jenkins)
			== Lenker ==


	=== Emnerapporter ===		=== Emnerapporter ===

Ruthgl: /* Læringsressurser */

2015-05-04T13:56:24Z

Læringsressurser

← Eldre sideversjon		Sideversjonen fra 4. mai 2015 kl. 13:56
Linje 31:		Linje 31:

	== Lenker ==		== Lenker ==
	=== Læringsressurser ===		=== Læringsressurser/pensumlitteratur ===
	*Læreboka ''Semiconductor Manufacturing Technology'' (av Quirk og Serda)		*Læreboka ''Semiconductor Manufacturing Technology'' (av Quirk og Serda)
	*Kompendium i form av utdrag fra ''Semiconductor Science'' (av Jenkins)		*Kompendium i form av utdrag fra ''Semiconductor Science'' (av Jenkins)


	=== Emnerapporter ===		=== Emnerapporter ===